Publication:
ЧИСЛЕННАЯ МОДЕЛЬ ВРЕМЯПРОЛЕТНОГО АНАЛИЗАТОРА ДЛЯ ПУЧКА КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ Ar

Файлы
стр. 88-92.pdf(1003.58 KB)
Дата
2019
Авторы
Бакун, А. Д.
Гусев, А. С.
Каргин, Н. И.
Колодко, Д. В.
Рындя, С. М.
Сигловая, Н. В.
Агейченков, Д. Г.
Показать ещё 3
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Другие подразделения НИЯУ МИФИ
Структурные подразделения НИЯУ МИФИ, не включенные в состав институтов и факультетов.
Выпуск журнала
Аннотация
Polishing with cluster ions makes it possible to obtain nanorelief on various materials. Often in such installations, the ion mass distribution is not known reliably. This paper presents the results of a time-of-flight mass analyzer simulation. The time-of-flight analyzer will be used for separation of cluster ions on the Exogenesis nAccel 100 unit.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
Численная модель времяпролетного анализатора для пучка кластерных ионов Ar [Text]. / Бакун А.Д. [et al.] // Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2019: труды XXIV Международной конференции Том 1. - 2019. - С. 88-92
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16165
Коллекции
2019_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)