Publication:
ЧИСЛЕННАЯ МОДЕЛЬ ВРЕМЯПРОЛЕТНОГО АНАЛИЗАТОРА ДЛЯ ПУЧКА КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ Ar

dc.contributor.authorБакун, А. Д.
dc.contributor.authorГусев, А. С.
dc.contributor.authorКаргин, Н. И.
dc.contributor.authorКолодко, Д. В.
dc.contributor.authorРындя, С. М.
dc.contributor.authorСигловая, Н. В.
dc.contributor.authorАгейченков, Д. Г.
dc.contributor.authorГусев, Александр Сергеевич
dc.contributor.authorКолодко, Добрыня Вячеславич
dc.contributor.authorРындя, Сергей Михайлович
dc.contributor.authorКаргин, Николай Иванович
dc.contributor.authorБакун, Алексей Дмитриевич
dc.contributor.authorСигловая, Наталия Владимировна
dc.date.accessioned2024-11-14T08:26:52Z
dc.date.available2024-11-14T08:26:52Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractPolishing with cluster ions makes it possible to obtain nanorelief on various materials. Often in such installations, the ion mass distribution is not known reliably. This paper presents the results of a time-of-flight mass analyzer simulation. The time-of-flight analyzer will be used for separation of cluster ions on the Exogenesis nAccel 100 unit.
dc.identifier.citationЧисленная модель времяпролетного анализатора для пучка кластерных ионов Ar [Text]. / Бакун А.Д. [et al.] // Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2019: труды XXIV Международной конференции Том 1. - 2019. - С. 88-92
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16165
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectКонференции НИЯУ МИФИ
dc.titleЧИСЛЕННАЯ МОДЕЛЬ ВРЕМЯПРОЛЕТНОГО АНАЛИЗАТОРА ДЛЯ ПУЧКА КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ Ar
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication60ab5e92-d182-4cc4-b567-f10ff3d0acb8
relation.isAuthorOfPublicationd637fefd-25d3-4a2d-9d90-813756555eb3
relation.isAuthorOfPublicationc533e558-a587-48d3-9659-e5d498ff066f
relation.isAuthorOfPublicationb63cacca-2813-4dee-964b-26cdc4e09e74
relation.isAuthorOfPublication180c0217-c101-4467-9e80-79c68e713bfe
relation.isAuthorOfPublication53932399-d465-40c5-bd46-9fb7f1a1f15c
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery60ab5e92-d182-4cc4-b567-f10ff3d0acb8
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication543ffddb-d115-4466-be75-83b0f2c5a473
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Загружается...
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 88-92.pdf
Size:
1003.58 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Загружается...
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description: