Publication:
Laser scanning confocal IR microscopy for non-destructive testing of semiconductors

Дата
2022
Авторы
Ukolov, D.
Baluev, A.
Gromova, P.
Pechenkin, A.
Mozhaev, R.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Другие подразделения НИЯУ МИФИ
Структурные подразделения НИЯУ МИФИ, не включенные в состав институтов и факультетов.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2022 IEEE.The article discusses characteristics of the laser scanning confocal IR microscope being developed for applications of non-destructive testing of semiconductor structures. The existing methods and analysis facilities of integrated circuits are described. In this review, the method of laser confocal IR-microscopy is considered. The laser scanning confocal IR-microscope will make it possible to reconstruct the internal structure of an integrated circuit and identify its materials without special environmental conditions during research, for example, such as vacuum chamber or x-ray facility.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Laser scanning confocal IR microscopy for non-destructive testing of semiconductors / Ukolov, D. [et al.] // Moscow Workshop on Electronic and Networking Technologies, MWENT 2022 - Proceedings. - 2022. - 10.1109/MWENT55238.2022.9802329
URI
https://www.doi.org/10.1109/MWENT55238.2022.9802329
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85134034086&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/28129
Коллекции
Публикации