Персона: Балуев, Арсений Андреевич
Загружается...
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
Организационная единица
Другие подразделения НИЯУ МИФИ
Структурные подразделения НИЯУ МИФИ, не включенные в состав институтов и факультетов.
Статус
Фамилия
Балуев
Имя
Арсений Андреевич
Имя
Результаты поиска
Теперь показываю 1 - 4 из 4
- ПубликацияТолько метаданныеApplication of Confocal Microscopy Methods for Research and Non-destructive Examination of Semiconductor Structures and Integrated Circuits(2021) Baluev, A. A.; Ukolov, D. S.; Pechenkin, A. A.; Mozhaev, R. K.; Балуев, Арсений Андреевич; Печенкин, Александр Александрович; Можаев, Роман Константинович© 2021 IEEE.The paper discusses the features and the possibilities of the under-development scanning confocal microscope in tasks of non-destructive examination of semiconductor electronics using the method of confocal microscopy with an emphasis on the possibility of studying the material and internal structure. The described technique allows studying integrated circuits from the substrate side of integrated circuits. This work is part of a global task and is devoted to mathematical modeling of the scanning process.
- ПубликацияОткрытый доступПРИМЕНЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ МАШИННОГО ЗРЕНИЯ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ СФОКУСИРОВАННОГО ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СТРУКТУРЫ В ПРОЦЕССАХ ИССЛЕДОВАНИЙ И МИКРООБРАБОТКИ(НИЯУ МИФИ, 2023) Можаев, Р. К.; Печенкин, А. А.; Цирков, А. А.; Белозеров, К. Г.; Лукашин, В. П.; Балуев, А, А.; Балуев, Арсений Андреевич; Лукашин, Владислав Павлович; Цирков, Артем Николаевич; Печенкин, Александр Александрович; Можаев, Роман КонстантиновичМашинное зрение – это область искусственного интеллекта, занимающаяся обработкой изображений и видеопотока при помощи специальных алгоритмов. Это позволяет устройствам анализировать визуальную информацию. Машинное зрение помогает в таких задачах, как распознавание образов, сегментация изображений, обнаружение объектов и слежение за ними. В микроскопии машинное зрение играет важную роль, в частности в лазерной сканирующей микроскопии (LSM). Лазерная сканирующая микроскопия, лазерное нанесение надрезов и лазерная коррекция топологии полупроводниковых кристаллов являются важными технологическими процессами в производстве, контроле и наладке полупроводниковых кристаллов, как на отладочных образцах, так и в серийных партиях пластин. Лазерное воздействие позволяет не только механически разделять кристаллы, но и осуществлять более деликатные и малоинвазивные воздействия, в частности подстройки сопротивления тонкопленочных резисторов или пережигание перемычек, необходимых для конфигурирования схемы и отключения неиспользуемых блоков кристалла. В работе проведен анализ основных параметров системы позиционирования в составе лазерной сканирующей установки, их влияние на точность сканирования и координат воздействия сфокусированным излучением в контрольных точках. Описаны принципы алгоритмов машинного зрения при работе с изображением сканируемого объекта и результаты апробации в задаче автоматизированного лазерного пережигания перемычек на полупроводниковой пластине. Поскольку число перемычек может достигать сотен тысяч, а системы позиционирования имеют значительные погрешности машинное зрение позволяет корректировать погрешности позиционирования и повысить точность лазерного воздействия на любом участке и этапе сканирования, что значительно повышает качество итогового результата лазерного воздействия.
- ПубликацияТолько метаданныеLaser scanning confocal IR microscopy for non-destructive testing of semiconductors(2022) Ukolov, D.; Baluev, A.; Gromova, P.; Pechenkin, A.; Mozhaev, R.; Балуев, Арсений Андреевич; Печенкин, Александр Александрович; Можаев, Роман Константинович© 2022 IEEE.The article discusses characteristics of the laser scanning confocal IR microscope being developed for applications of non-destructive testing of semiconductor structures. The existing methods and analysis facilities of integrated circuits are described. In this review, the method of laser confocal IR-microscopy is considered. The laser scanning confocal IR-microscope will make it possible to reconstruct the internal structure of an integrated circuit and identify its materials without special environmental conditions during research, for example, such as vacuum chamber or x-ray facility.
- ПубликацияТолько метаданныеOptical Glasses Transmittance Reduction Under Gamma Radiation Exposure at Different Temperatures(2023) Baluev, A. A.; Mozhaev, R. K.; Lukashin, V. P.; Pechenkin, A. A.; Балуев, Арсений Андреевич; Можаев, Роман Константинович; Лукашин, Владислав Павлович; Печенкин, Александр Александрович