Publication:
Application of Confocal Microscopy Methods for Research and Non-destructive Examination of Semiconductor Structures and Integrated Circuits

Дата
2021
Авторы
Baluev, A. A.
Ukolov, D. S.
Pechenkin, A. A.
Mozhaev, R. K.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Другие подразделения НИЯУ МИФИ
Структурные подразделения НИЯУ МИФИ, не включенные в состав институтов и факультетов.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2021 IEEE.The paper discusses the features and the possibilities of the under-development scanning confocal microscope in tasks of non-destructive examination of semiconductor electronics using the method of confocal microscopy with an emphasis on the possibility of studying the material and internal structure. The described technique allows studying integrated circuits from the substrate side of integrated circuits. This work is part of a global task and is devoted to mathematical modeling of the scanning process.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Application of Confocal Microscopy Methods for Research and Non-destructive Examination of Semiconductor Structures and Integrated Circuits / Baluev, A.A. [et al.] // Proceedings of the International Conference on Microelectronics, ICM. - 2021. - 2021-September. - P. 135-138. - 10.1109/MIEL52794.2021.9569106
URI
https://www.doi.org/10.1109/MIEL52794.2021.9569106
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85118430411&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/24920
Коллекции
Публикации