Publication:
МЕТОДИКА ФОРМИРОВАНИЯ СВЕРХГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ СИТАЛЛА ИОННО-КЛАСТЕРНЫМИ И АТОМАРНЫМИ ПУЧКАМИ АРГОНА

Файлы
стр. 84-87.pdf(997.19 KB)
Дата
2019
Авторы
Бакун, А. Д.
Гусев, А. С.
Каргин, Н. И.
Рындя, С. М.
Сигловая, Н. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
Optical glass ceramics (ex. sitall) is a promising material for the elements of devices operating in a wide temperature range. However, typical methods do not allow to form a substrate with a mean-square surface roughness of less than 0.2 nm in the spatial frequency range corresponding to the scattering of incident optical radiation. To obtain super-smooth substrates of optical glass ceramics it is proposed to use the method of gas cluster ion beam (GCIB) and accelerated neutral atom beam (ANAB) processing.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Методика формирования сверхгладких поверхностей ситалла ионно-кластерными и атомарными пучками аргона [Text]. / Бакун А.Д. [et al.] // Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2019: труды XXIV Международной конференции Том 1. - 2019. - С. 84-87
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16164
Коллекции
2019_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)