Publication:
МЕТОДИКА ФОРМИРОВАНИЯ СВЕРХГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ СИТАЛЛА ИОННО-КЛАСТЕРНЫМИ И АТОМАРНЫМИ ПУЧКАМИ АРГОНА

Простая страница элемента
dc.contributor.authorБакун, А. Д.
dc.contributor.authorГусев, А. С.
dc.contributor.authorКаргин, Н. И.
dc.contributor.authorРындя, С. М.
dc.contributor.authorСигловая, Н. В.
dc.contributor.authorБакун, Алексей Дмитриевич
dc.contributor.authorКаргин, Николай Иванович
dc.contributor.authorГусев, Александр Сергеевич
dc.contributor.authorРындя, Сергей Михайлович
dc.contributor.authorСигловая, Наталия Владимировна
dc.date.accessioned2024-11-14T08:11:26Z
dc.date.available2024-11-14T08:11:26Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractOptical glass ceramics (ex. sitall) is a promising material for the elements of devices operating in a wide temperature range. However, typical methods do not allow to form a substrate with a mean-square surface roughness of less than 0.2 nm in the spatial frequency range corresponding to the scattering of incident optical radiation. To obtain super-smooth substrates of optical glass ceramics it is proposed to use the method of gas cluster ion beam (GCIB) and accelerated neutral atom beam (ANAB) processing.
dc.identifier.citationМетодика формирования сверхгладких поверхностей ситалла ионно-кластерными и атомарными пучками аргона [Text]. / Бакун А.Д. [et al.] // Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2019: труды XXIV Международной конференции Том 1. - 2019. - С. 84-87
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16164
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.titleМЕТОДИКА ФОРМИРОВАНИЯ СВЕРХГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ СИТАЛЛА ИОННО-КЛАСТЕРНЫМИ И АТОМАРНЫМИ ПУЧКАМИ АРГОНА
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication180c0217-c101-4467-9e80-79c68e713bfe
relation.isAuthorOfPublicationb63cacca-2813-4dee-964b-26cdc4e09e74
relation.isAuthorOfPublication60ab5e92-d182-4cc4-b567-f10ff3d0acb8
relation.isAuthorOfPublicationc533e558-a587-48d3-9659-e5d498ff066f
relation.isAuthorOfPublication53932399-d465-40c5-bd46-9fb7f1a1f15c
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery180c0217-c101-4467-9e80-79c68e713bfe
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 84-87.pdf
Size:
997.19 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
2019_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)