Publication:
Methods and Tools for Evaluating the Characteristics of MIS-Capacitor Gas Sensors

Дата
2022
Авторы
Podlepetsky, B. I.
Samotaev, N. N.
Etrekova, M. O.
Litvinov, A. V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
Based on the electrophysical models of electrical characteristics of MIS-capacitor sensors, we analyze the features of methods and tools for evaluating metrological characteristics of the sensors in general terms and using the example of hydrogen-sensitive sensor elements with Pd-SiO2-Si structure. Recommendations are given on the choice of optimal circuit modes for determining the performance characteristics of the sensors of concentrations of hydrogen-containing gases and of gas analyzers for various purposes.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Methods and Tools for Evaluating the Characteristics of MIS-Capacitor Gas Sensors / Podlepetsky, B. I. [et al.] // AUTOMATION AND REMOTE CONTROL. - 2022. - 83. - № 10. - P. 1639-1651. - 10.1134/S00051179220100162
URI
https://www.doi.org/10.1134/S00051179220100162
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000901754100016
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/28490
Коллекции
Публикации