Publication:
СОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА

Файлы
ЛАПЛАЗ-2025 «Лазерные, плазменные исследования и технологии – ЛаПлаз-2025»-192.pdf(2.69 MB)
Дата
2025
Авторы
ЛИТВИНОВ, А. В.
ЭТРЕКОВА, М. О.
САМОТАЕВ, Н. Н.
ОБЛОВ, К. Ю.
ПЕВЦОВ, И. Д.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
Исследована чувствительность датчиков на основе МДП-структур Pt-PdO-SiO2-Si-Pt к содержанию Н2, H2S, NO2 и NH3 в воздухе в зависимости от режимов термической постобработки в среде чистого воздуха и в смеси с водородом.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
СОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА / Литвинов А. В. [и тд.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2025: сборник научных трудов XI Международной конференции. - 2025. - С. 192
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/39976
Коллекции
2025_ХI Международная конференция "Лазерные, плазменные исследования и технологии" ЛаПлаз-2025