Publication:
СОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА

dc.contributor.authorЛИТВИНОВ, А. В.
dc.contributor.authorЭТРЕКОВА, М. О.
dc.contributor.authorСАМОТАЕВ, Н. Н.
dc.contributor.authorОБЛОВ, К. Ю.
dc.contributor.authorПЕВЦОВ, И. Д.
dc.contributor.authorОблов, Константин Юрьевич
dc.contributor.authorСамотаев, Николай Николаевич
dc.contributor.authorЛитвинов, Артур Васильевич
dc.contributor.authorЭтрекова, Майя Оразгельдыевна
dc.contributor.authorПевцов, Илья Денисович
dc.date.accessioned2025-12-16T10:45:07Z
dc.date.available2025-12-16T10:45:07Z
dc.date.issued2025
dc.description.abstractИсследована чувствительность датчиков на основе МДП-структур Pt-PdO-SiO2-Si-Pt к содержанию Н2, H2S, NO2 и NH3 в воздухе в зависимости от режимов термической постобработки в среде чистого воздуха и в смеси с водородом.
dc.identifier.citationСОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА / Литвинов А. В. [и тд.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2025: сборник научных трудов XI Международной конференции. - 2025. - С. 192
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/39976
dc.languageru
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.titleСОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication607c3419-166c-4b97-94c8-2d5d45dde7e4
relation.isAuthorOfPublication0004cf07-4071-427a-8a4b-df33706477ca
relation.isAuthorOfPublicationbf7ece45-b374-444e-ba9e-3804d693e483
relation.isAuthorOfPublication5edca8a2-4b70-4c6e-a9df-47b213d95e87
relation.isAuthorOfPublication046dba42-0515-4098-88f2-44ff64820359
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery607c3419-166c-4b97-94c8-2d5d45dde7e4
relation.isOrgUnitOfPublicationdcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscoverydcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Загружается...
Уменьшенное изображение
Name:
ЛАПЛАЗ-2025 «Лазерные, плазменные исследования и технологии – ЛаПлаз-2025»-192.pdf
Size:
2.69 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Загружается...
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description: