Publication: СОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА
| dc.contributor.author | ЛИТВИНОВ, А. В. | |
| dc.contributor.author | ЭТРЕКОВА, М. О. | |
| dc.contributor.author | САМОТАЕВ, Н. Н. | |
| dc.contributor.author | ОБЛОВ, К. Ю. | |
| dc.contributor.author | ПЕВЦОВ, И. Д. | |
| dc.contributor.author | Облов, Константин Юрьевич | |
| dc.contributor.author | Самотаев, Николай Николаевич | |
| dc.contributor.author | Литвинов, Артур Васильевич | |
| dc.contributor.author | Этрекова, Майя Оразгельдыевна | |
| dc.contributor.author | Певцов, Илья Денисович | |
| dc.date.accessioned | 2025-12-16T10:45:07Z | |
| dc.date.available | 2025-12-16T10:45:07Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.description.abstract | Исследована чувствительность датчиков на основе МДП-структур Pt-PdO-SiO2-Si-Pt к содержанию Н2, H2S, NO2 и NH3 в воздухе в зависимости от режимов термической постобработки в среде чистого воздуха и в смеси с водородом. | |
| dc.identifier.citation | СОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА / Литвинов А. В. [и тд.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2025: сборник научных трудов XI Международной конференции. - 2025. - С. 192 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/39976 | |
| dc.language | ru | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.title | СОЧЕТАНИЕ МЕТОДОВ ЛАЗЕРНОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА | |
| dc.type | Article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAuthorOfPublication | 607c3419-166c-4b97-94c8-2d5d45dde7e4 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 0004cf07-4071-427a-8a4b-df33706477ca | |
| relation.isAuthorOfPublication | bf7ece45-b374-444e-ba9e-3804d693e483 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 5edca8a2-4b70-4c6e-a9df-47b213d95e87 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 046dba42-0515-4098-88f2-44ff64820359 | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | 607c3419-166c-4b97-94c8-2d5d45dde7e4 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | 06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |
Файлы
Original bundle
1 - 1 из 1
Загружается...
- Name:
- ЛАПЛАЗ-2025 «Лазерные, плазменные исследования и технологии – ЛаПлаз-2025»-192.pdf
- Size:
- 2.69 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
License bundle
1 - 1 из 1
Загружается...
- Name:
- license.txt
- Size:
- 3.45 KB
- Format:
- Item-specific license agreed to upon submission
- Description: