Publication:
Combination of Material Processing and Characterization Methods for Miniaturization of Field-Effect Gas Sensor

Файлы
W4313518427.pdf(4.41 MB)
Дата
2023
Авторы
Samotaev, N.
Litvinov, A.
Oblov, K.
Etrekova, M.
Podlepetsky, B.
Dzhumaev, P. S.
Показать ещё 2
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт ядерной физики и технологий
Цель ИЯФиТ и стратегия развития - создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области ядерной физики и технологий, радиационного материаловедения, физики элементарных частиц, астрофизики и космофизики.
Выпуск журнала
Аннотация
The technological approach for the low-scale production of field-effect gas sensors as electronic components for use in non-lab ambient environments is described. In this work, in addition to the mechanical protection of a gas-sensitive structure, an emphasis was also placed on the very topical issue of thermal stabilization around the one temperature point, even if it is several degrees higher than the surrounding one, which will probably also be useful for any type of application for many types of field-effect sensors. Considerable attention was paid to the characterization of the results obtained by various invasive and non-invasive methods for diagnosing the manufactured construction. The technology described in this article occupies an intermediate position between laboratory samples tested in clean rooms with stable ambient atmospheres, and experimental and small-scale production sensors designed for real operating conditions to solve the narrow application of measuring low concentrations of hydrogen.
Описание
Ключевые слова
Characterization (materials science) , Gas Sensing Mechanisms , Gas Sensors , Transient Temperature Measurement
Цитирование
Combination of Material Processing and Characterization Methods for Miniaturization of Field-Effect Gas Sensor / Samotaev, N. [et al.] // Sensors. - 2023. - 23. - № 1. - 10.3390/s23010514
URI
https://www.doi.org/10.3390/s23010514
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85145876186&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000910238100001
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/29907
Коллекции
Публикации