Publication:
Improvement of field effect capacity type gas sensor thermo inertial parameters by using laser micromilling technique

Дата
2020
Авторы
Samotaev, N.
Oblov, K.
Etrekova, M.
Veselov, D.
Ivanova, A.
Litvinov, A.
Показать ещё 2
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This paper presents a verification of technology aspects for improvement of field effect capacity type gas sensor parameters by using laser micromilling technique for fabrication ceramic surface mounting device (SMD) package and microheater for sustentation working temperature of metal-insulator-semiconductor structure (MIS structure). Innovative claims include: demonstration of flexible opportunities for new digital fabrication process flows based on laser micromilling tech: fast design of SMD sensor 3-D model, flexible changing topology of microheater, thick and thin film technology combination for reducing of power consumption. The results show possibility to fast fabrication functional sensor in customer ceramic SMD package with base 9x9 mm with twice reduced power consumption and improving mechanical properties compare with classical metal-glass microelectronic packages using before for such type sensors.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Improvement of field effect capacity type gas sensor thermo inertial parameters by using laser micromilling technique / Samotaev, N. [et al.] // Materials Science Forum. - 2020. - 977 MSF. - P. 256-260. - 10.4028/www.scientific.net/MSF.977.256
URI
https://www.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.977.256
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85081182579&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/20387
Коллекции
Публикации