Publication:
Metal-ion Penning source for thin films deposition

Файлы
стр. 98-100.pdf(199.89 KB)
Дата
2015
Авторы
Колодко, Д. В.
Синельников, Д. Н.
Казиев, А. В.
Тумаркин, А. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
Recently, research areas dealing with coating processes in a magnetron discharge with melted cathode have experienced intensive development [1–3]. In this mode magnetron discharge is operated in the target's vapour and the plasma in this case is purely metallic. Despite the main contribution to the deposition process is introduced by the vaporized (neutral) component, the coating properties are greatly affected by the ion flux [3]. So, it is important to study the process of deposition by ion flux solely.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
Metal-ion Penning source for thin films deposition [Text.] / Колодко Д. В. [и др.] // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 3. - 2015. - С. 98-100
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/23417
Коллекции
2015_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)