Publication:
Metal-ion Penning source for thin films deposition

Простая страница элемента
dc.contributor.authorКолодко, Д. В.
dc.contributor.authorСинельников, Д. Н.
dc.contributor.authorКазиев, А. В.
dc.contributor.authorТумаркин, А. В.
dc.contributor.authorТумаркин, Александр Владимирович
dc.contributor.authorКолодко, Добрыня Вячеславич
dc.contributor.authorКазиев, Андрей Викторович
dc.contributor.authorСинельников, Дмитрий Николаевич
dc.date.accessioned2024-11-29T09:09:56Z
dc.date.available2024-11-29T09:09:56Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractRecently, research areas dealing with coating processes in a magnetron discharge with melted cathode have experienced intensive development [1–3]. In this mode magnetron discharge is operated in the target's vapour and the plasma in this case is purely metallic. Despite the main contribution to the deposition process is introduced by the vaporized (neutral) component, the coating properties are greatly affected by the ion flux [3]. So, it is important to study the process of deposition by ion flux solely.
dc.identifier.citationMetal-ion Penning source for thin films deposition [Text.] / Колодко Д. В. [и др.] // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 3. - 2015. - С. 98-100
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/23417
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectКонференции НИЯУ МИФИ
dc.titleMetal-ion Penning source for thin films deposition
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublicationdc983be0-d0f6-4ec3-aa50-6e90a9227b1b
relation.isAuthorOfPublicationd637fefd-25d3-4a2d-9d90-813756555eb3
relation.isAuthorOfPublicationc70d4049-e1f0-4840-8e36-73b5eeafc0a2
relation.isAuthorOfPublication4f6f2fcb-29aa-4f64-a710-49ec3d0da924
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscoverydc983be0-d0f6-4ec3-aa50-6e90a9227b1b
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 98-100.pdf
Size:
199.89 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
2015_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)