Publication: Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники
Дата
2018
Авторы
Васильевский, И. С.
Грехов, М. М.
Гусев, А. С.
Каргин, Н. И.
Сигловая, Н. В.
Стриханов, М. Н.
Тимофеев, А. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ.
Описание
Полный доступ в ЭБС НИЯУ МИФИ
Ключевые слова
Цитирование
Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / И.С. Васильевский [и др.] ; ред. М.В. Макарова. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2018. - 256 с.