Publication:
Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники

Простая страница элемента
dc.contributor.authorВасильевский, И. С.
dc.contributor.authorГрехов, М. М.
dc.contributor.authorГусев, А. С.
dc.contributor.authorКаргин, Н. И.
dc.contributor.authorСигловая, Н. В.
dc.contributor.authorСтриханов, М. Н.
dc.contributor.authorТимофеев, А. А.
dc.contributor.authorТимофеев, Алексей Афанасьевич
dc.contributor.authorСигловая, Наталия Владимировна
dc.contributor.authorКаргин, Николай Иванович
dc.contributor.authorВасильевский, Иван Сергеевич
dc.contributor.authorГрехов, Алексей Михайлович
dc.contributor.authorГусев, Александр Сергеевич
dc.contributor.authorСтриханов, Михаил Николаевич
dc.date.accessioned2025-10-17T11:36:37Z
dc.date.available2025-10-17T11:36:37Z
dc.date.issued2018
dc.descriptionПолный доступ в ЭБС НИЯУ МИФИ
dc.description.abstractЛабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ.
dc.identifier.citationЛабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / И.С. Васильевский [и др.] ; ред. М.В. Макарова. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2018. - 256 с.
dc.identifier.isbn978-5-7262-2398-8
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/39383
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.titleЛабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники
dc.typeBook
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication931a3a2c-93bc-4fed-aa3f-1a64ae330f55
relation.isAuthorOfPublication53932399-d465-40c5-bd46-9fb7f1a1f15c
relation.isAuthorOfPublicationb63cacca-2813-4dee-964b-26cdc4e09e74
relation.isAuthorOfPublication8ce84220-3c34-4278-83e7-c79be7660fe9
relation.isAuthorOfPublication35145a89-54ef-4e93-9aa5-49eb8be25e3a
relation.isAuthorOfPublication60ab5e92-d182-4cc4-b567-f10ff3d0acb8
relation.isAuthorOfPublication85af5626-2b88-4006-9deb-f9293b0bdc4c
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery931a3a2c-93bc-4fed-aa3f-1a64ae330f55
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
Vasilevskiy_Laboratornyy_praktikum_po_fizike_i_tekhnologii_nanostrukturnoy_2018.pdf
Size:
9.41 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Лицензионный договор №12/04-18 о предоставлении права использования произведения от 12.04.2018 г.
Download
Коллекции
Учебные издания / Методические материалы