Publication:
Parameter studies of ceramic MEMS microhotplates fabricated by laser micromilling technology

Дата
2020
Авторы
Samotaev, N.
Oblov, K.
Etrekova, M.
Veselov, D.
Gorshkova, A.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This paper presents a modeling of technology aspects for fabrication ceramic microelectromechanical systems (MEMS) microhotplate and surface mounting device (SMD) packaging for (MOX) gas sensors applications. Innovative claims include: demonstration of flexible opportunities for new fabrication process flows based on laser micromilling tech; modeling of power consumption MEMS microhotplate depending on the thickness and topology; demonstration of necessity changing thick film technology of metallization to vacuum sputtering by reducing of power consumption. The results show possibility to fast fabrication of different topologies for ceramic MEMS microhotplate in form-factor of SOT-23 type SMD package.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Parameter studies of ceramic MEMS microhotplates fabricated by laser micromilling technology / Samotaev, N. [et al.] // Materials Science Forum. - 2020. - 977 MSF. - P. 238-243. - 10.4028/www.scientific.net/MSF.977.238
URI
https://www.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.977.238
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85081176022&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/20389
Коллекции
Публикации