Publication:
Laser Micromilling Technology as a Key for Rapid Ceramic MEMS Devices

Дата
2019
Авторы
Oblov, K. Y.
Samotaev, N. N.
Etrekova, M. O.
Gorshkova, A. V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019, Pleiades Publishing, Ltd.The flexible laser micromilling technology for ceramic MEMS production of microhotplates in the surface mount device (SMD) package is described. Current results demonstrate that using described technology makes it possible to manufacture all parts of MEMS sensor in the SMD with form factor of SOT-23 package type.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Laser Micromilling Technology as a Key for Rapid Ceramic MEMS Devices / Oblov, K.Y. [et al.] // Physics of Atomic Nuclei. - 2019. - 82. - № 11. - P. 1508-1512. - 10.1134/S1063778819110152
URI
https://www.doi.org/10.1134/S1063778819110152
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85081571998&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000520708000015
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/19500
Коллекции
Публикации