Publication:
Thin platinum films topology formation on ceramic membranes

Дата
2020
Авторы
Samotaev, N.
Oblov, K.
Etrekova, M.
Ivanova, A.
Veselov, D.
Gorshkova, A.
Показать ещё 1
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This article presents the technological aspects of experiments on the stable topological patterns formation from thin films of platinum on ceramic membranes. Platinum thin films were deposited by magnetron sputtering on a clean or pre-activated laser ceramics surface. After the deposition of platinum films, the method of various short-term laser irradiation was attempted to form a topological pattern. The results are discussed.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Thin platinum films topology formation on ceramic membranes / Samotaev, N. [et al.] // Materials Science Forum. - 2020. - 977 MSF. - P. 272-276. - 10.4028/www.scientific.net/MSF.977.272
URI
https://www.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.977.272
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85081171563&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/20390
Коллекции
Публикации