Publication:
Diagnostics of ion fluxes in low-temperature laboratory and industrial plasmas

Дата
2019
Авторы
Kolodko, D, V.
Ageychenkov, D. G.
Kaziev, A, V.
Leonova, K. A.
Kharkov, M. M.
Tumarkin, A. V.
Показать ещё 1
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
We studied the ion fluxes on metal surfaces in the inductively coupled plasma reactor as a test facility. The gas mixture of argon and nitrogen was used, with 0.44 Pa total pressure. The radiofrequency power was varied in a wide range (250-2000 W). The ion fluxes were sampled in situ using a specially designed electrostatic extractor and then analyzed with a custom-built magnetic sector mass-separator. The gas composition was independently monitored by the quadrupole analyzer. All measurements were accompanied by optical emission spectroscopy (OES). The correlations of measured optical and corpuscular data are discussed. The conversion function linking optical and corpuscular intensities for Ar/N-2 radiofrequency discharge was determined.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Diagnostics of ion fluxes in low-temperature laboratory and industrial plasmas / Kolodko, DV [et al.] // Journal of Instrumentation. - 2019. - 14. - 10.1088/1748-0221/14/10/P10005
URI
https://www.doi.org/10.1088/1748-0221/14/10/P10005
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85082146024&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000501798100005
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/19056
Коллекции
Публикации