Publication:
Micro-Hotplate for Thermocatalytic Gas Sensor Fabricated by Ceramic Laser Micromachining

Файлы
micromachines-17-00059.pdf(4.07 MB)
Дата
2026
Авторы
Samotaev, N.
Zebrev, G.
Oblov, K.
Etrekova, M.
Dzhumaev, P.
Obraztsov, I.
Podlepetsky, B.
Показать ещё 4
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт ядерной физики и технологий
Цель ИЯФиТ и стратегия развития - создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области ядерной физики и технологий, радиационного материаловедения, физики элементарных частиц, астрофизики и космофизики.
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Micro-Hotplate for Thermocatalytic Gas Sensor Fabricated by Ceramic Laser Micromachining / Samotaev, N. [et al.] // Micromachines. - 2026. - 17. - № 1. - 10.3390/mi17010059
URI
https://www.doi.org/10.3390/mi17010059
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-105028689956&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/41613
Коллекции
Публикации