Publication:
Technology of SMD MOX gas sensors rapid prototyping

Дата
2020
Авторы
Samotaev, N.
Oblov, K.
Veselov, D.
Podlepetsky, B.
Etrekova, M.
Volkov, N.
Zibilyuk, N.
Показать ещё 2
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт ядерной физики и технологий
Цель ИЯФиТ и стратегия развития - создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области ядерной физики и технологий, радиационного материаловедения, физики элементарных частиц, астрофизики и космофизики.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This work discusses the design of flexible laser micromilling technology for fast prototyping of metal oxide based (MOX) gas sensors in SMD packages as an alternative to traditional silicon clean room technologies. By laser micromilling technology it is possible to fabricate custom Micro Electro Mechanical System (MEMS) microhotplate platform and also packages for MOX sensor, that gives complete solution for its integration in devices using IoT conception. The tests described in the work show the attainability of the stated results for the fabrication of microhotplates.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Technology of SMD MOX gas sensors rapid prototyping / Samotaev, N. [et al.] // Materials Science Forum. - 2020. - 977 MSF. - P. 231-237. - 10.4028/www.scientific.net/MSF.977.231
URI
https://www.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.977.231
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85081179998&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/20388
Коллекции
Публикации