Персона:
Харьков, Максим Михайлович

Организационные подразделения

Организационная единица

Институт лазерных и плазменных технологий

Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.

Фамилия

Харьков

Имя

Максим Михайлович

Полная страница элемента

Результаты поиска

Теперь показываю 1 - 10 из 22

Только метаданные
Diagnostics of ion fluxes in low-temperature laboratory and industrial plasmas
(2019) Kolodko, D, V.; Ageychenkov, D. G.; Kaziev, A, V.; Leonova, K. A.; Kharkov, M. M.; Tumarkin, A. V.; Колодко, Добрыня Вячеславич; Агейченков, Дмитрий Григорьевич; Казиев, Андрей Викторович; Харьков, Максим Михайлович; Тумаркин, Александр Владимирович
We studied the ion fluxes on metal surfaces in the inductively coupled plasma reactor as a test facility. The gas mixture of argon and nitrogen was used, with 0.44 Pa total pressure. The radiofrequency power was varied in a wide range (250-2000 W). The ion fluxes were sampled in situ using a specially designed electrostatic extractor and then analyzed with a custom-built magnetic sector mass-separator. The gas composition was independently monitored by the quadrupole analyzer. All measurements were accompanied by optical emission spectroscopy (OES). The correlations of measured optical and corpuscular data are discussed. The conversion function linking optical and corpuscular intensities for Ar/N-2 radiofrequency discharge was determined.
Только метаданные
Direct ion content measurements in a non-sputtering magnetron discharge
(2019) Kaziev, A. V.; Kolodko, D. V.; Ageychenkov, D. G.; Tumarkin, A. V.; Kharkov, M. M.; Stepanova, T. V.; Казиев, Андрей Викторович; Колодко, Добрыня Вячеславич; Агейченков, Дмитрий Григорьевич; Тумаркин, Александр Владимирович; Харьков, Максим Михайлович; Степанова, Татьяна Владимировна
In present contribution we report the first direct measurements of ion fluxes in a nonsputtering magnetron discharge (NSMD) with Al cathode in Ar/O-2 mixtures. The diagnostic unit comprising three-electrode electrostatic lens ion extractor, magnetic sector mass-analyzer, and a vacuum electron multiplier was calibrated and then used to record the time-resolved ion counts of Al+ and Ar+ both in NSMD and arc regimes. The results clearly indicate that in NSMD the dominant species are Ar ions while Al ion signal is lower than the sensitivity limit due to noise level, in contrast to the arc discharge. The capabilities of the diagnostics setup and its sensitivity limits are discussed.
Только метаданные
Langmuir probe diagnostics of an impulse magnetron discharge with hot Cr target
(2019) Tumarkin, A. V.; Kaziev, A, V.; Leonova, K. A.; Kharkov, M. M.; Kolodko, D. V.; Khomyakov, A. Yu.; Тумаркин, Александр Владимирович; Казиев, Андрей Викторович; Харьков, Максим Михайлович; Колодко, Добрыня Вячеславич
Impulse magnetron discharge (pulse duration 20 ms) with uncooled Cr target has been investigated with a specially designed Langmuir probe setup in a wide range of parameters (magnetic field and discharge power). The spatial distributions of electron temperature and plasma density have been measured in the gasless self-sputtering mode. It has been shown that in the gasless high-power pulsed discharge with hot Cr target, plasma density is as high as 5 x 10(18) M-3 at a pulsed power density of 1430 W/cm(2), while the electron temperature drops to values below 1 eV.
Только метаданные
Comparison of thermal properties of a hot target magnetron operated in DC and long HIPIMS modes
(2021) Kaziev, A. V.; Kolodko, D. V.; Tumarkin, A, V.; Kharkov, M. M.; Lisenkov, V. Y.; Sergeev, N. S.; Казиев, Андрей Викторович; Колодко, Добрыня Вячеславич; Тумаркин, Александр Владимирович; Харьков, Максим Михайлович; Сергеев, Никита Сергеевич
© 2021 Elsevier B.V.Thermal properties of the magnetron discharge with uncooled copper and chromium targets were studied experimentally and theoretically for DC and long HiPIMS (L-HiPIMS) operation modes. A set of thermal fluxes was considered to build a numerical model of the hot target exposed to DC and high-power pulsed plasma. The modeling results were tested in the experiments. The temperature of targets was measured directly in course of magnetron discharge operation with an elaborated contact thermocouple method. The measurements were made in two modes. At first the temporal evolution of temperature was recorded for a fixed applied discharge power. The results were found to well agree with temperature values expected from calculations. At 2 kW power, it takes ~50 s to reach the melting point of copper. The steady-state temperature values were also measured for a number of discharge power levels. The obtained dependence clearly demonstrated that the main mechanisms of the target heat balance at high temperatures are surface radiation and heat transfer due to thermal conductivity of the heat insulation supports between the target and water-cooled cathode. The parameters of DC hot target magnetron were compared to the high-power pulsed regime with the pulse-on time 20 ms. A promising method of a hot target magnetron discharge operation was considered that involves applying long (>20 ms) high-power pulses to the target pre-heated in the DC mode during the pulse-off period.
Только метаданные
Ion current optimization in a magnetron with tunable magnetic field configuration
(2021) Kaziev, A. V.; Ageychenkov, D. G.; Tumarkin, A. V.; Kolodko, D. V.; Sergeev, N. S.; Kharkov, M. M.; Leonova, K. A.; Казиев, Андрей Викторович; Агейченков, Дмитрий Григорьевич; Тумаркин, Александр Владимирович; Колодко, Добрыня Вячеславич; Сергеев, Никита Сергеевич; Харьков, Максим Михайлович
© 2021 Institute of Physics Publishing. All rights reserved.The response of the ion current in the substrate region to the magnetic system configuration of a circular magnetron was studied during direct current sputtering of aluminum target. The unbalancing degree induced by changing of magnets’ positions was modelled with finite element methods. The ion saturation current in the substrate region showed more than twofold variation with unbalancing degree in the range 0.6–1.2. The dependence was non-monotonic, and the system was optimized to maximize the substrate ion current. The Langmuir probe diagnostics showed plasma density ~ 1016 m–3 in the optimized magnetic configuration.
Открытый доступ
ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА ИОННЫХ ПОТОКОВ ИЗ ПЛАЗМЫ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА В СРЕДЕ СМЕСЕЙ He/H2
(НИЯУ МИФИ, 2024) ЛОМОНОСОВ, Г. С.; ХАРЬКОВ, М. М.; КОЛОДКО, Д. В.; НОВИКОВ, М. С.; КАЗИЕВ, А. В.; ОГОРОДНИКОВА, О. В.; Огородникова, Ольга Вячеславовна; Казиев, Андрей Викторович; Колодко, Добрыня Вячеславич; Харьков, Максим Михайлович; Ломоносов, Глеб Сергеевич
Одна из проблем термоядерных установок – накопление трития в стенках и в диверторе токамаков, разрушение материала и образование выли в следствии облучения мощными потоками частиц из плазмы. Основные процессы происходящие при взаимодействии плазмы с поверхностью: распыление, захват, со-осаждение, нагрев, образование дефектов и пр. Большинство исследований направлены на изучение процесса накопления топлива и продуктов синтеза в материалах, обращённых к плазме, как основного процесса [1-3]. Однако, в ходе со-осаждения процесс накопление гелия и изотопов водорода меняет свой характер, что обуславливается дополнительным потоком материала стенок токомака. В области дивертора рассчитанная плотность потока нейтралов вольфрама ~3×1013 см–2с–1 при суммарном потоке ионов ~1×1017 см–2с–1 [4]. Исследования захвата дейтерия при осаждении в магнетронном разряде методом термодесорбционной спектроскопии проводились группой Крата [5]
Открытый доступ
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ НАБЛЮДЕНИЯ СПОНТАННОГО ИНИЦИИРОВАНИЯ ИМПУЛЬСОВ ДУГОВЫХ РАЗРЯДОВ ПРИ ВЗАИМОДЕЙСТВИИ ГЕЛИЕВОЙ ПЛАЗМЫ СО СЛОЯМИ ВОЛЬФРАМОВЫХ НАНОВОЛОКОН
(НИЯУ МИФИ, 2024) КУКУШКИНА, М. С.; КАЗИЕВ, А. В.; КОЛОДКО, Д. В.; ХАРЬКОВ, М. М.; РЫКУНОВ, И. Г.; ЦВЕНТУХ, М. М.; Харьков, Максим Михайлович; Колодко, Добрыня Вячеславич; Казиев, Андрей Викторович; Кукушкина, Маргарита Сергеевна
При повышении пристеночного потенциала гелиевой плазмы, воздействующей на поверхность вольфрама, рост наноструктуры волокон вольфрама сменяется распылением, при этом спонтанно (без внешнего триггера) инициируются «пробои» - импульсы взрывной электронной эмиссии [1-3].
Только метаданные
Estimation of MoS2 Coating Performance on Bronze and Steel in Vacuum at High Temperatures
(2022) Prozhega, M. V.; Reschikov, E. O.; Kharkov, M. M.; Rykunov, G. I.; Kaziev, A. V.; Kukushkina, M. S.; Kolodko, D. V.; Stepanova, T. V.; Харьков, Максим Михайлович; Казиев, Андрей Викторович; Кукушкина, Маргарита Сергеевна; Колодко, Добрыня Вячеславич; Степанова, Татьяна Владимировна
© 2022 by the authors. Licensee MDPI, Basel, Switzerland.We compared two modes of magnetron sputter deposition of MoS2 on substrates made of steel AISI 316L and bronze CuAl9NiFe4Mn1 with different initial roughness Ra 0.05–2.32 µm. The deposition was carried out at a bias voltage of −20 and +100 V, and the deposition rate of these modes differed by 30%. Measurements of the friction coefficient and lifetime tests were made in accordance with ASTM G133. Measurements of the friction coefficient and lifetime tests in vacuum at load 7H, temperature of samples 250◦C, and pressure in the chamber <10−6 Pa were carried out according to ASTM G133. The adhesive strength, the chemical composition of the coatings before and after tribological tests, the degree of crystallinity of the coatings, and the distance between the planes were evaluated. Mechanical and structural properties of coatings are discussed concerning the deposition mode parameters. The average coefficient of friction of the MoS2 coatings in steady-state friction did not exceed 0.051 for all samples. The influence of the sample pretreatment method on the growth of molybdenum disulfide crystals was revealed.
Только метаданные
SIMULATION OF TARGET SURFACE CHEMICAL STATE IN A HOT-TARGET HIPIMS PROCESS МОДЕЛИРОВАНИЕ ХИМИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНИ В СИМР С ГОРЯЧЕИ МИШЕНЬЮ
(2023) Kaziev, A. V.; Kolodko, D. V.; Tumarkin, A. V.; Kharkov, M.; Lisenkov, V. Y.; Казиев, Андрей Викторович; Колодко, Добрыня Вячеславич; Тумаркин, Александр Владимирович; Харьков, Максим Михайлович
Только метаданные
Preparation of Silicon Oxide Films by a Hot-Target Impulse Magnetron Deposition in a Reactive Mixture
(2023) Lisenkov, V. Y.; Kharkov, M. M.; Kolodko, D. V.; Tumarkin, A. V.; Kaziev, A. V.; Харьков, Максим Михайлович; Колодко, Добрыня Вячеславич; Тумаркин, Александр Владимирович; Казиев, Андрей Викторович