Publication:
Ion current optimization in a magnetron with tunable magnetic field configuration

Дата
2021
Авторы
Kaziev, A. V.
Ageychenkov, D. G.
Tumarkin, A. V.
Kolodko, D. V.
Sergeev, N. S.
Kharkov, M. M.
Leonova, K. A.
Показать ещё 3
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2021 Institute of Physics Publishing. All rights reserved.The response of the ion current in the substrate region to the magnetic system configuration of a circular magnetron was studied during direct current sputtering of aluminum target. The unbalancing degree induced by changing of magnets’ positions was modelled with finite element methods. The ion saturation current in the substrate region showed more than twofold variation with unbalancing degree in the range 0.6–1.2. The dependence was non-monotonic, and the system was optimized to maximize the substrate ion current. The Langmuir probe diagnostics showed plasma density ~ 1016 m–3 in the optimized magnetic configuration.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Ion current optimization in a magnetron with tunable magnetic field configuration / Kaziev, A.V. [et al.] // Journal of Physics: Conference Series. - 2021. - 2064. - № 1. - 10.1088/1742-6596/2064/1/012061
URI
https://www.doi.org/10.1088/1742-6596/2064/1/012061
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85120979435&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/25081
Коллекции
Публикации