Publication:
SIMULATION OF TARGET SURFACE CHEMICAL STATE IN A HOT-TARGET HIPIMS PROCESS МОДЕЛИРОВАНИЕ ХИМИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНИ В СИМР С ГОРЯЧЕИ МИШЕНЬЮ

Дата
2023
Авторы
Kaziev, A. V.
Kolodko, D. V.
Tumarkin, A. V.
Kharkov, M.
Lisenkov, V. Y.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
SIMULATION OF TARGET SURFACE CHEMICAL STATE IN A HOT-TARGET HIPIMS PROCESS МОДЕЛИРОВАНИЕ ХИМИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНИ В СИМР С ГОРЯЧЕИ МИШЕНЬЮ / Kaziev, A. V. [et al.] // ChemChemTech. - 2023. - 66. - № 12. - P. 76-81. - 10.6060/ivkkt.20236612.6879
URI
https://www.doi.org/10.6060/ivkkt.20236612.6879
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85177438207&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/29469
Коллекции
Публикации