Персона: Веселов, Денис Сергеевич
Загружается...
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе.
Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.
Статус
Фамилия
Веселов
Имя
Денис Сергеевич
Имя
4 results
Результаты поиска
Теперь показываю 1 - 4 из 4
- ПубликацияТолько метаданныеTechnology of SMD MOX gas sensors rapid prototyping(2020) Samotaev, N.; Oblov, K.; Veselov, D.; Podlepetsky, B.; Etrekova, M.; Volkov, N.; Zibilyuk, N.; Самотаев, Николай Николаевич; Облов, Константин Юрьевич; Веселов, Денис Сергеевич; Подлепецкий, Борис Иванович; Этрекова, Майя Оразгельдыевна© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This work discusses the design of flexible laser micromilling technology for fast prototyping of metal oxide based (MOX) gas sensors in SMD packages as an alternative to traditional silicon clean room technologies. By laser micromilling technology it is possible to fabricate custom Micro Electro Mechanical System (MEMS) microhotplate platform and also packages for MOX sensor, that gives complete solution for its integration in devices using IoT conception. The tests described in the work show the attainability of the stated results for the fabrication of microhotplates.
- ПубликацияТолько метаданныеImprovement of field effect capacity type gas sensor thermo inertial parameters by using laser micromilling technique(2020) Samotaev, N.; Oblov, K.; Etrekova, M.; Veselov, D.; Ivanova, A.; Litvinov, A.; Самотаев, Николай Николаевич; Облов, Константин Юрьевич; Этрекова, Майя Оразгельдыевна; Веселов, Денис Сергеевич; Иванова, Анастасия Владимировна; Литвинов, Артур Васильевич© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This paper presents a verification of technology aspects for improvement of field effect capacity type gas sensor parameters by using laser micromilling technique for fabrication ceramic surface mounting device (SMD) package and microheater for sustentation working temperature of metal-insulator-semiconductor structure (MIS structure). Innovative claims include: demonstration of flexible opportunities for new digital fabrication process flows based on laser micromilling tech: fast design of SMD sensor 3-D model, flexible changing topology of microheater, thick and thin film technology combination for reducing of power consumption. The results show possibility to fast fabrication functional sensor in customer ceramic SMD package with base 9x9 mm with twice reduced power consumption and improving mechanical properties compare with classical metal-glass microelectronic packages using before for such type sensors.
- ПубликацияТолько метаданныеParameter studies of ceramic MEMS microhotplates fabricated by laser micromilling technology(2020) Samotaev, N.; Oblov, K.; Etrekova, M.; Veselov, D.; Gorshkova, A.; Самотаев, Николай Николаевич; Облов, Константин Юрьевич; Этрекова, Майя Оразгельдыевна; Веселов, Денис Сергеевич© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This paper presents a modeling of technology aspects for fabrication ceramic microelectromechanical systems (MEMS) microhotplate and surface mounting device (SMD) packaging for (MOX) gas sensors applications. Innovative claims include: demonstration of flexible opportunities for new fabrication process flows based on laser micromilling tech; modeling of power consumption MEMS microhotplate depending on the thickness and topology; demonstration of necessity changing thick film technology of metallization to vacuum sputtering by reducing of power consumption. The results show possibility to fast fabrication of different topologies for ceramic MEMS microhotplate in form-factor of SOT-23 type SMD package.
- ПубликацияТолько метаданныеThin platinum films topology formation on ceramic membranes(2020) Samotaev, N.; Oblov, K.; Etrekova, M.; Ivanova, A.; Veselov, D.; Gorshkova, A.; Самотаев, Николай Николаевич; Облов, Константин Юрьевич; Этрекова, Майя Оразгельдыевна; Иванова, Анастасия Владимировна; Веселов, Денис Сергеевич© 2020 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland.This article presents the technological aspects of experiments on the stable topological patterns formation from thin films of platinum on ceramic membranes. Platinum thin films were deposited by magnetron sputtering on a clean or pre-activated laser ceramics surface. After the deposition of platinum films, the method of various short-term laser irradiation was attempted to form a topological pattern. The results are discussed.