Publication:
Flux of High-Energy Positive Oxygen Ions from Plasma to a Substrate in a Pulsed Magnetron Discharge with a Hot Target

Дата
2023
Авторы
Kolodko, D. V.
Kaziev, A. V.
Ageichenkov, D. G.
Lisenkov, V. Y.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Flux of High-Energy Positive Oxygen Ions from Plasma to a Substrate in a Pulsed Magnetron Discharge with a Hot Target / Kolodko, D. V. [et al.] // Journal of Communications Technology and Electronics. - 2023. - 68. - № 10. - P. 1249-1251. - 10.1134/S1064226923100078
URI
https://www.doi.org/10.1134/S1064226923100078
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85179836974&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/29522
Коллекции
Публикации