Publication:
Advances in optical sensing techniques application for simulation of space radiation effects in microelectronic devices using wavelength-tunable femtosecond laser

Дата
2020
Авторы
Mavritskii, O. B.
Egorov, A. N.
Pechenkin, A. A.
Savchenkov, D. V.
Boychenko, D. V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Другие подразделения НИЯУ МИФИ
Структурные подразделения НИЯУ МИФИ, не включенные в состав институтов и факультетов.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© COPYRIGHT SPIE. Downloading of the abstract is permitted for personal use only.Singe event effect (SEE) simulation in modern integrated circuits (ICs) by femtosecond laser irradiation through the substrate allows eliminating a lot of problems connected to the presence of multiple opaque metal layers above the IC active layer. With this irradiation geometry, the proper wavelength of laser radiation should be chosen to generate sufficient amount of nonequilibrium charge in the active layer on the one hand, and to avoid significant laser energy losses in the thick substrate on the other hand. In this paper several typical microelectronic ICs were selected to investigate the dependence of SEE generation effectiveness on the laser wavelength when irradiating through the substrate of various thickness. It was found, that the most appropriate laser wavelength for the silicon substrate thicknesses of 300 to 800 μm lies in the 1030 to 1070 nm range.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Advances in optical sensing techniques application for simulation of space radiation effects in microelectronic devices using wavelength-tunable femtosecond laser / Mavritskii, O.B. [et al.] // Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. - 2020. - 11354. - 10.1117/12.2555772
URI
https://www.doi.org/10.1117/12.2555772
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85090381438&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000672621800054
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/22318
Коллекции
Публикации