Publication:
АНАЛИЗ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ СИСТЕМЫ РЕНТГЕНОВСКОГО КОНТРОЛЯ ДЛЯ ОЦЕНКИ МАССОВОЙ ТОЛЩИНЫ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Файлы
1724-2682-2-PB.pdf(724.81 KB)
Дата
2024
Авторы
Артамонов, А. С.
Бойченко, Д. В.
Каменева, А. С.
Journal Title
Безопасность информационных технологий
Journal ISSN
Volume Title
Безопасность информационных технологий
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Другие подразделения НИЯУ МИФИ
Структурные подразделения НИЯУ МИФИ, не включенные в состав институтов и факультетов.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Уменьшенное изображение
Выпуск журнала
Аннотация
В работе проводится анализ возможности применения типовой установки рентгеновского контроля для оценки массовой толщины корпусов интегральных схем. Проведение подобных оценок необходимо для корректного определения значений линейных потерь энергии ионов при проведении экспериментальных исследований на ускорителях ионов высоких энергий корпусированных изделий микроэлектроники. Представлены предварительные результаты, демонстрирующие такую возможность. Рассмотрены особенности конструкции и работы системы рентгеновского контроля и выявлено, что на результаты оценок оказывает сильное влияние нестабильность характеристик рентгеновской установки, расходимость рентгеновского излучения и точность позиционирования изделия. Обоснован метод оценки массовой толщины корпусов с использованием одновременного облучения клина из известного материала с исследуемым образцом. С целью уменьшения влияния размерных эффектов допускается при наличии такой возможности обрезка части корпуса.
Описание
Ключевые слова
нуклотрон NICA , система рентгеновского контроля , корпуса интегральных схем , массовая толщина , безопасность информационных систем
Цитирование
АРТАМОНОВ, Алексей С.; БОЙЧЕНКО, Дмитрий В.; КАМЕНЕВА, Анна С. АНАЛИЗ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ СИСТЕМЫ РЕНТГЕНОВСКОГО КОНТРОЛЯ ДЛЯ ОЦЕНКИ МАССОВОЙ ТОЛЩИНЫ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. Безопасность информационных технологий, [S.l.], т. 31, № 4, с. 165–176, 2024. ISSN 2074-7136. URL: https://bit.spels.ru/index.php/bit/article/view/1724. DOI: http://dx.doi.org/10.26583/bit.2024.4.12
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/26544
 https://bit.spels.ru/index.php/bit/article/view/1724
Коллекции