Publication: АНАЛИЗ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ СИСТЕМЫ РЕНТГЕНОВСКОГО КОНТРОЛЯ ДЛЯ ОЦЕНКИ МАССОВОЙ ТОЛЩИНЫ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
| creativeworkseries.issn | 2074-7128 (Print) | |
| dc.contributor.author | Артамонов, А. С. | |
| dc.contributor.author | Бойченко, Д. В. | |
| dc.contributor.author | Каменева, А. С. | |
| dc.contributor.author | Каменева, Анна Сергеевна | |
| dc.contributor.author | Бойченко, Дмитрий Владимирович | |
| dc.contributor.author | Артамонов, Алексей Сергеевич | |
| dc.date.accessioned | 2024-12-09T13:01:48Z | |
| dc.date.available | 2024-12-09T13:01:48Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description.abstract | В работе проводится анализ возможности применения типовой установки рентгеновского контроля для оценки массовой толщины корпусов интегральных схем. Проведение подобных оценок необходимо для корректного определения значений линейных потерь энергии ионов при проведении экспериментальных исследований на ускорителях ионов высоких энергий корпусированных изделий микроэлектроники. Представлены предварительные результаты, демонстрирующие такую возможность. Рассмотрены особенности конструкции и работы системы рентгеновского контроля и выявлено, что на результаты оценок оказывает сильное влияние нестабильность характеристик рентгеновской установки, расходимость рентгеновского излучения и точность позиционирования изделия. Обоснован метод оценки массовой толщины корпусов с использованием одновременного облучения клина из известного материала с исследуемым образцом. С целью уменьшения влияния размерных эффектов допускается при наличии такой возможности обрезка части корпуса. | |
| dc.identifier.citation | АРТАМОНОВ, Алексей С.; БОЙЧЕНКО, Дмитрий В.; КАМЕНЕВА, Анна С. АНАЛИЗ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ СИСТЕМЫ РЕНТГЕНОВСКОГО КОНТРОЛЯ ДЛЯ ОЦЕНКИ МАССОВОЙ ТОЛЩИНЫ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. Безопасность информационных технологий, [S.l.], т. 31, № 4, с. 165–176, 2024. ISSN 2074-7136. URL: https://bit.spels.ru/index.php/bit/article/view/1724. DOI: http://dx.doi.org/10.26583/bit.2024.4.12 | |
| dc.identifier.doi | 10.26583/bit.2024.4.12 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/26544 | |
| dc.identifier.uri | https://bit.spels.ru/index.php/bit/article/view/1724 | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.subject | нуклотрон NICA | |
| dc.subject | система рентгеновского контроля | |
| dc.subject | корпуса интегральных схем | |
| dc.subject | массовая толщина | |
| dc.subject | безопасность информационных систем | |
| dc.title | АНАЛИЗ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ СИСТЕМЫ РЕНТГЕНОВСКОГО КОНТРОЛЯ ДЛЯ ОЦЕНКИ МАССОВОЙ ТОЛЩИНЫ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ | |
| dc.title.alternative | НАУЧНЫЕ СТАТЬИ | |
| dc.type | Article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| journal.title | Безопасность информационных технологий | |
| journalvolume.identifier.name | Безопасность информационных технологий | |
| relation.isAuthorOfPublication | 5edb4954-81f2-4275-b229-b63321444623 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 6ae1c162-8f7e-42e2-9a52-a8b36fbdf426 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 0ef2120b-b097-48a5-a704-9af1279ec47e | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | 5edb4954-81f2-4275-b229-b63321444623 | |
| relation.isJournalIssueOfPublication | 30f8204f-5013-443a-90c6-a8c2e8a286fc | |
| relation.isJournalIssueOfPublication.latestForDiscovery | 30f8204f-5013-443a-90c6-a8c2e8a286fc | |
| relation.isJournalOfPublication | 3b9ae913-eaeb-4d29-a767-7f6ca8a0e066 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | 543ffddb-d115-4466-be75-83b0f2c5a473 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | 543ffddb-d115-4466-be75-83b0f2c5a473 |