Publication:
Analysis of Metallic-to-Oxide Sputtering Mode Transition During Reactive Magnetron Deposition of Aluminum Oxide Coatings

Файлы
applsci-15-04305.pdf(3.1 MB)
Дата
2025
Авторы
Kaziev, A. V.
Tumarkin, A. V.
Kolodko, D. V.
Kharkov, M. M.
Konaguru, R.
Ageychenkov, D. G.
Samotaev, N. N.
Oblov, K. Yu.
Показать ещё 5
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Analysis of Metallic-to-Oxide Sputtering Mode Transition During Reactive Magnetron Deposition of Aluminum Oxide Coatings / Kaziev, A. V. [et al.] // Applied Sciences (Switzerland). - 2025. - 15. - № 8. - 10.3390/app15084305
URI
https://www.doi.org/10.3390/app15084305
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-105003730774&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/37190
Коллекции
Публикации