Publication: MAGNETRON DEPOSITION OF TRANSPARENT AZO FILMS FROM COMPOSITE AND SINGLE-ELEMENT TARGETS МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК AZO ИЗ КОМПОЗИЦИОННЫХ И ОДНОЭЛЕМЕНТНЫХ МИШЕНЕИ
Дата
2026
Авторы
Kolodko, D. V.
Kaziev, A. V.
Ageychenkov, D. G.
Tumarkin, A. V.
Kharkov, M. M.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
MAGNETRON DEPOSITION OF TRANSPARENT AZO FILMS FROM COMPOSITE AND SINGLE-ELEMENT TARGETS МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК AZO ИЗ КОМПОЗИЦИОННЫХ И ОДНОЭЛЕМЕНТНЫХ МИШЕНЕИ / Kolodko, D. V. [et al.] // ChemChemTech. - 2026. - 69. - № 6. - P. 78-85. - 10.6060/ivkkt.20266906.7088