Publication: MAGNETRON DEPOSITION OF TRANSPARENT AZO FILMS FROM COMPOSITE AND SINGLE-ELEMENT TARGETS МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК AZO ИЗ КОМПОЗИЦИОННЫХ И ОДНОЭЛЕМЕНТНЫХ МИШЕНЕИ
| dc.contributor.author | Kolodko, D. V. | |
| dc.contributor.author | Kaziev, A. V. | |
| dc.contributor.author | Ageychenkov, D. G. | |
| dc.contributor.author | Tumarkin, A. V. | |
| dc.contributor.author | Kharkov, M. M. | |
| dc.contributor.author | Казиев, Андрей Викторович | |
| dc.contributor.author | Агейченков, Дмитрий Григорьевич | |
| dc.contributor.author | Тумаркин, Александр Владимирович | |
| dc.contributor.author | Харьков, Максим Михайлович | |
| dc.date.accessioned | 2026-06-02T11:06:46Z | |
| dc.date.available | 2026-06-02T11:06:46Z | |
| dc.date.issued | 2026 | |
| dc.format.extent | С. 78-85 | |
| dc.identifier.citation | MAGNETRON DEPOSITION OF TRANSPARENT AZO FILMS FROM COMPOSITE AND SINGLE-ELEMENT TARGETS МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК AZO ИЗ КОМПОЗИЦИОННЫХ И ОДНОЭЛЕМЕНТНЫХ МИШЕНЕИ / Kolodko, D. V. [et al.] // ChemChemTech. - 2026. - 69. - № 6. - P. 78-85. - 10.6060/ivkkt.20266906.7088 | |
| dc.identifier.doi | 10.6060/ivkkt.20266906.7088 | |
| dc.identifier.uri | https://www.doi.org/10.6060/ivkkt.20266906.7088 | |
| dc.identifier.uri | https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-105036350451&origin=resultslist | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/42777 | |
| dc.relation.ispartof | ChemChemTech | |
| dc.title | MAGNETRON DEPOSITION OF TRANSPARENT AZO FILMS FROM COMPOSITE AND SINGLE-ELEMENT TARGETS МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК AZO ИЗ КОМПОЗИЦИОННЫХ И ОДНОЭЛЕМЕНТНЫХ МИШЕНЕИ | |
| dc.type | Article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| oaire.citation.issue | 6 | |
| oaire.citation.volume | 69 | |
| relation.isAuthorOfPublication | c70d4049-e1f0-4840-8e36-73b5eeafc0a2 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 956e020e-00eb-4777-ba10-ea2967ec097d | |
| relation.isAuthorOfPublication | dc983be0-d0f6-4ec3-aa50-6e90a9227b1b | |
| relation.isAuthorOfPublication | 8bcb6d05-5e53-4b0c-a287-3acc05a84313 | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | c70d4049-e1f0-4840-8e36-73b5eeafc0a2 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |
Файлы
Original bundle
1 - 1 из 1
Загружается...
- Name:
- ivkkt.20266906.7088.pdf
- Size:
- 1.12 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description: