Publication:
Current-voltage characteristics of an impulse magnetron discharge in target material vapor

Файлы
W3114417204.pdf(881.68 KB)
Дата
2020
Авторы
Kaziev, A. V.
Leonova, K. A.
Kharkov, M. M.
Tumarkin, A. V.
Kolodko, D. V.
Khomyakov, A. Y.
Ageychenkov, D. G.
Показать ещё 2
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© Published under licence by IOP Publishing Ltd.The magnetron discharge with hot (uncooled) target in an impulse mode has been experimentally investigated. The I-V characteristics have been measured depending on the magnetic field strength for three target materials: copper, chromium, and silicon. For melted copper and hot chromium targets, stable gasless (no argon) operation of the magnetron has been demonstrated with maximum impulse power densities about 2.5 kW/cm2 (averaged over the racetrack area). For silicon target, maximum impulse power density was 1.5 kW/cm2 at low argon pressure (0.1 Pa). The magnetic field dependences of discharge parameters have shown the associated changes in differential plasma impedance.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Current-voltage characteristics of an impulse magnetron discharge in target material vapor / Kaziev, A.V. [et al.] // Journal of Physics: Conference Series. - 2020. - 1686. - № 1. - 10.1088/1742-6596/1686/1/012019
URI
https://www.doi.org/10.1088/1742-6596/1686/1/012019
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85097992303&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/22798
Коллекции
Публикации