Publication:
Etching of "Microwire-on-Insulator"-Type Structures

Дата
2022
Авторы
Shustin, E. G.
Kolodko, D. V.
Luzanov, V. A.
Mirgorodskaya, E. N.
Sorokin, I. A.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Etching of "Microwire-on-Insulator"-Type Structures / Shustin, E.G. [et al.] // Plasma Physics Reports. - 2022. - 48. - № 6. - P. 638-644. - 10.1134/S1063780X22600517
URI
https://www.doi.org/10.1134/S1063780X22600517
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85138729395&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000853047200007
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/27527
Коллекции
Публикации