Publication:
Method of formation of super-smooth optical surfaces using GCIB and ANAB processing

Дата
2020
Авторы
Bakun, A. D.
Gusev, A. S.
Kargin, N. I.
Ryndya, S. M.
Siglovaya, N. V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Другие подразделения НИЯУ МИФИ
Структурные подразделения НИЯУ МИФИ, не включенные в состав институтов и факультетов.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2020 Elsevier B.V.Optical glass–ceramic is a promising material for the elements of precision optical systems operating in a wide temperature range. However, conventional methods such as the chemical–mechanical or ion polishing do not allow to form a substrate surface with less than 0.2 nm root mean square roughness. The method of gas cluster ion beam (GCIB) and accelerated neutral atom beam (ANAB) processing of glass–ceramic substrates is proposed to obtain super-smooth optical surfaces. The experimental samples were characterized by atomic force microscopy and X-ray diffractometry. It is shown that the surface is modified with the disappearance of linear defects (scratches) and the roughness parameters are improved. Only residual chaotic relief with the average roughness value (Ra) of 0.2 – 0.3 nm is observed after GCIB treatment. Subsequent ANAB processing allows to decrease the Ra parameter down to 0.15 nm. The improvement of surface characteristics is confirmed by the analysis of PSD-function in the investigated range of spatial frequencies. As a result of this work the method for super-smooth optical substrates fabrication was developed and the characteristics of obtained surfaces were investigated.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Method of formation of super-smooth optical surfaces using GCIB and ANAB processing / Bakun, A.D. [et al.] // Applied Surface Science. - 2020. - 523. - 10.1016/j.apsusc.2020.146384
URI
https://www.doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.146384
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85085269335&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000541407600018
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/21839
Коллекции
Публикации