Publication:
Ceramic microhotplates for low power metal oxide gas sensors

Дата
2019
Авторы
Fritsch, M.
Mosch, S.
Vinnichenko, M.
Trofimenko, N.
Samotaev, N. N.
Oblov, K. Y.
Gorshkova, A.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019 Elsevier Ltd.The progress of the Internet of Things stimulates the development of sensors of small size and low power consumption. Miniaturized metal-oxide semiconductor (MOX) gas sensors (e.g. methane, hydrogen or carbon monoxide detection) can be integrated into agro-industrial facilities such as livestock facilities, fish farming, forestry, food-storage and horticulture, where they support future-oriented plant production (smart agriculture). The central part of a MOX gas sensor is a micro-hotplate, which is mainly responsible for the sensor power consumption at operating temperatures from 450'°C to 600'°C. Under harsh environmental conductions, ceramic materials are the best choice for the micro-hotplate substrate and sensor housing (ceramic MEMS) in combination with platinum metallization for the heater. To realize such gas sensors with low power consumption (<200 mW) were developed of miniaturized printable heaters on ultra-thin ceramic membranes.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Ceramic microhotplates for low power metal oxide gas sensors / Fritsch, M. [et al.] // Materials Today: Proceedings. - 2019. - 30. - P. 448-451. - 10.1016/j.matpr.2019.12.394
URI
https://www.doi.org/10.1016/j.matpr.2019.12.394
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85093496269&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000576778500018
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/19596
Коллекции
Публикации