Publication: ФОРМИРОВАНИЕ МИКРООТВЕРСТИЙ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ ПЕРКУССИОННЫМ НАНОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ СВЕРЛЕНИЕМ
Дата
2024
Авторы
ГРЕЧИХИН, Н. В.
ЩЕКИН, А. С.
ПЕТРОВСКИЙ, В. Н.
БУРХАНОВ, А. Р.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Рассмотрены базовые принципы лазерного сверления. Проведено исследование влияния параметров лазерного излучения на конусность формируемых отверстий при перкуссионном лазерном сверлении с использованием статистических методов. С помощью дисперсионного анализа рассчитано влияние каждого из рассматриваемых параметров.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
ФОРМИРОВАНИЕ МИКРООТВЕРСТИЙ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ ПЕРКУССИОННЫМ НАНОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ СВЕРЛЕНИЕМ / ГРЕЧИХИН Н.В. [и др.] // Сборник научных трудов X Международной конференции. Москва, ЛаПлаз-2024. - 2024. - С. 41