Publication: ФОРМИРОВАНИЕ МИКРООТВЕРСТИЙ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ ПЕРКУССИОННЫМ НАНОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ СВЕРЛЕНИЕМ
| dc.contributor.author | ГРЕЧИХИН, Н. В. | |
| dc.contributor.author | ЩЕКИН, А. С. | |
| dc.contributor.author | ПЕТРОВСКИЙ, В. Н. | |
| dc.contributor.author | БУРХАНОВ, А. Р. | |
| dc.contributor.author | Петровский, Виктор Николаевич | |
| dc.contributor.author | Щекин, Александр Сергеевич | |
| dc.contributor.author | Гречихин, Николай Валерьевич | |
| dc.date.accessioned | 2026-01-28T13:52:21Z | |
| dc.date.available | 2026-01-28T13:52:21Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрены базовые принципы лазерного сверления. Проведено исследование влияния параметров лазерного излучения на конусность формируемых отверстий при перкуссионном лазерном сверлении с использованием статистических методов. С помощью дисперсионного анализа рассчитано влияние каждого из рассматриваемых параметров. | |
| dc.identifier.citation | ФОРМИРОВАНИЕ МИКРООТВЕРСТИЙ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ ПЕРКУССИОННЫМ НАНОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ СВЕРЛЕНИЕМ / ГРЕЧИХИН Н.В. [и др.] // Сборник научных трудов X Международной конференции. Москва, ЛаПлаз-2024. - 2024. - С. 41 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/40270 | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.title | ФОРМИРОВАНИЕ МИКРООТВЕРСТИЙ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ ПЕРКУССИОННЫМ НАНОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ СВЕРЛЕНИЕМ | |
| dc.type | Article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAuthorOfPublication | f8b329ee-41b2-45b4-a373-35cbe2c82f6f | |
| relation.isAuthorOfPublication | 3dc3c7d8-1c64-448f-b426-eaec4993cbb3 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 6aef6060-ece4-4d03-8f23-f091b0ae0656 | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | f8b329ee-41b2-45b4-a373-35cbe2c82f6f | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |
Файлы
Original bundle
1 - 1 из 1
Загружается...
- Name:
- 2024_lazernye_plazmennye_issledovaniya_tekhnologii - 41.pdf
- Size:
- 3.17 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
License bundle
1 - 1 из 1
Загружается...
- Name:
- license.txt
- Size:
- 3.45 KB
- Format:
- Item-specific license agreed to upon submission
- Description: