Publication:
Rapid prototyping of mox gas sensors in form-factor of smd packages

Дата
2019
Авторы
Samotaev, N.
Oblov, K.
Ivanova, A.
Gorshkova, A.
Podlepetsky, B.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019 IEEE.this work discusses the design of flexible laser micromilling technology for fast prototyping metal oxide based (MOX) gas sensors in SMD packages as a alternative to traditional silicon clean-room technologies. By laser micromilling technology possible to fabricate custom Micro Electro Mechanical System (MEMS) microhotplate platform and also SMD packages for MOX sensor, that gives complete solution for integration one in devices using IoT conception.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Rapid prototyping of mox gas sensors in form-factor of smd packages / Samotaev, N. [et al.] // 2019 IEEE 31st International Conference on Microelectronics, MIEL 2019 - Proceedings. - 2019. - P. 157-160. - 10.1109/MIEL.2019.8889576
URI
https://www.doi.org/10.1109/MIEL.2019.8889576
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85075341168&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000565455600032
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/19400
Коллекции
Публикации