Publication:
Detection of Chlorine by field effect sensor

Файлы
W2959741793.pdf(1.23 MB)
Дата
2019
Авторы
Samotaev, N. N.
Litvinov, A. V.
Etrekova, M. O.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
© Published under licence by IOP Publishing Ltd.The gas analytical system for chlorine gas measurement based on metal-insulator-semiconductor field effect (MIS FE) type sensor has been developed. High sensitivity of MIS FE sensor to chlorine allows measuring concentrations in the sub-ppb level and to be stable for overload hydrogen gas concentration typically present in industrial electrolysis application. With the pulse heating mode, the response and relaxation times of the MIS sensor are reduced by an order of magnitude which gives chance to use one for high precision environmental control.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Samotaev, N. N. Detection of Chlorine by field effect sensor / Samotaev, N.N., Litvinov, A.V., Etrekova, M.O. // Journal of Physics: Conference Series. - 2019. - 1236. - № 1. - 10.1088/1742-6596/1236/1/012086
URI
https://www.doi.org/10.1088/1742-6596/1236/1/012086
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85069476199&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000485618000086
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/18425
Коллекции
Публикации