Publication:
On the possibility of indirect measurement of the thin carbon films thickness using energy-dispersive analysis

Дата
2021
Авторы
Sorokin, I. A.
Kolodko, D. V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2021 Elsevier B.V.The article describes theoretical feasibility of a technique for indirect measurement of the thin carbon films thickness using energy dispersive x-ray spectroscopy. The method is based on measuring the ratio of the characteristic radiation from the substrate material below the analyzed carbon film and from the material of the additional covering layer. The technique was compared with a well-known method based on measuring the characteristic substrate material radiation. The possibilities and limits of applicability of the energy dispersive spectroscopy for the thickness determination of thin carbon films were qualitatively determined by Monte Carlo numerical simulation method of characteristic x-ray spectra.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Sorokin, I. A. On the possibility of indirect measurement of the thin carbon films thickness using energy-dispersive analysis / Sorokin, I.A., Kolodko, D.V. // Thin Solid Films. - 2021. - 737. - 10.1016/j.tsf.2021.138937
URI
https://www.doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138937
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85115384683&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000704919900004
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/24722
Коллекции
Публикации