Publication:
Micro-catalytic gas sensor operating modes for extended life service, increasing sensitivity to target gases and power consumption reduction

Файлы
W3107074263.pdf(902.33 KB)
Дата
2020
Авторы
Ducso, C.
Samotaev, N.
Oblov, K.
Dzhumaev, P.
Filipchuk, D.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт ядерной физики и технологий
Цель ИЯФиТ и стратегия развития - создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области ядерной физики и технологий, радиационного материаловедения, физики элементарных частиц, астрофизики и космофизики.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2020 Institute of Physics Publishing. All rights reserved.Catalytic gas sensors are among of the most old and widespread gas sensors for combustible gas concentration measurements. However, power consumption these sensors provide is relativity high for modern electronic applications. In this paper research results of combination a silicon MEMS fabrication with operating modes for extended life service, increasing sensitivity to target gases and power consumption reduction are presented. The described solutions allow achieving long-term stability of the sensor in difficult operating conditions - the main requirement for industrial applications, where the continuity of the process is of high value expressed in tangible assets and human lives.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Micro-catalytic gas sensor operating modes for extended life service, increasing sensitivity to target gases and power consumption reduction / Ducso, C. [et al.] // Journal of Physics: Conference Series. - 2020. - 1681. - № 1. - 10.1088/1742-6596/1681/1/012007
URI
https://www.doi.org/10.1088/1742-6596/1681/1/012007
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85097218442&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/22660
Коллекции
Публикации