2019, Lukashin, V. P., Cherniak, M. E., Akhmetov, A. O., Nikiforov, A. Y., Ulanova, A. V., Лукашин, Владислав Павлович, Никифоров, Александр Юрьевич, Уланова, Анастасия Владиславовна

© 2019 IEEE.The paper presents a method of device monitoring during radiation testing for charge coupled devices with interline transfer (hereinafter-CCD). The results of heavy ions, dose rate and total ionizing dose tests are presented together with the description of the developed software and hardware set-up based on the National Instruments platform and on the designed specialized equipment adapted for radiation tests.

2023, Можаев, Р. К., Печенкин, А. А., Цирков, А. А., Белозеров, К. Г., Лукашин, В. П., Балуев, А, А., Балуев, Арсений Андреевич, Лукашин, Владислав Павлович, Цирков, Артем Николаевич, Печенкин, Александр Александрович, Можаев, Роман Константинович

Машинное зрение – это область искусственного интеллекта, занимающаяся обработкой изображений и видеопотока при помощи специальных алгоритмов. Это позволяет устройствам анализировать визуальную информацию. Машинное зрение помогает в таких задачах, как распознавание образов, сегментация изображений, обнаружение объектов и слежение за ними. В микроскопии машинное зрение играет важную роль, в частности в лазерной сканирующей микроскопии (LSM). Лазерная сканирующая микроскопия, лазерное нанесение надрезов и лазерная коррекция топологии полупроводниковых кристаллов являются важными технологическими процессами в производстве, контроле и наладке полупроводниковых кристаллов, как на отладочных образцах, так и в серийных партиях пластин. Лазерное воздействие позволяет не только механически разделять кристаллы, но и осуществлять более деликатные и малоинвазивные воздействия, в частности подстройки сопротивления тонкопленочных резисторов или пережигание перемычек, необходимых для конфигурирования схемы и отключения неиспользуемых блоков кристалла. В работе проведен анализ основных параметров системы позиционирования в составе лазерной сканирующей установки, их влияние на точность сканирования и координат воздействия сфокусированным излучением в контрольных точках. Описаны принципы алгоритмов машинного зрения при работе с изображением сканируемого объекта и результаты апробации в задаче автоматизированного лазерного пережигания перемычек на полупроводниковой пластине. Поскольку число перемычек может достигать сотен тысяч, а системы позиционирования имеют значительные погрешности машинное зрение позволяет корректировать погрешности позиционирования и повысить точность лазерного воздействия на любом участке и этапе сканирования, что значительно повышает качество итогового результата лазерного воздействия.

2021, Novikova, M. M., Novikov, A. A., Pechenkin, A. A., Lukashin, V. P., Oblova, E. N., Gritsaenko, A. R., Protasov, D. E., Tararaksin, A. S., Печенкин, Александр Александрович, Лукашин, Владислав Павлович, Грицаенко, Альбина Радиковна, Протасов, Дмитрий Евгеньевич, Тарараксин, Александр Сергеевич

An approach for SEL sensitivity estimation using heavy ions at room temperature and laser facilities both at room and subzero temperatures is proposed. The results of comparison approach approbation are also presented. © 2021 IEEE.

2023, Baluev, A. A., Mozhaev, R. K., Lukashin, V. P., Pechenkin, A. A., Балуев, Арсений Андреевич, Можаев, Роман Константинович, Лукашин, Владислав Павлович, Печенкин, Александр Александрович