Publication: СВЧ-ПЛАЗМОТРОН И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПЛАЗМЫ
Дата
2024
Авторы
Берестенко, В. И.
Любушкина, Т. А.
Морозов, А. О.
Ахременков, Б. В.
Прокопенко, А. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Изобретение относится к средствам генерирования плазмы СВЧ-разряда. Ввод СВЧ-энергии осуществляется в металлическую разрядную камеру через продольную вдоль оси камеры щель из присоединяемой к этой щели металлической трубы-волновода, располагаемой вдоль оси разрядной камеры. Через эту же щель вводится вращающийся вокруг оси разрядной камеры поток газа, закрученный внутри трубы-волновода. Для предотвращения образования зоны рециркуляции газа в осевой зоне внутри трубы-волновода располагают дополнительную металлическую трубу меньшего диаметра. Между трубой меньшего диаметра и внешней трубой-волноводом вводится вращающийся поток газа, далее по образованному таким образом коаксиальному волноводу вводится СВЧ-энергия на электромагнитной волне типа H11, которая возбуждается в коаксиальном волноводе, через окно во внешней трубе коаксиального волновода в зоне, удаленной от щели ввода, в разрядную камеру. Причем обеспечивается удаление герметизирующего диэлектрического окна ввода СВЧ-энергии в зону, недостижимую для продуктов реакции, из активной зоны СВЧ-разряда и теплового воздействия плазмы на окно, а также совмещение щели ввода СВЧ-энергии в разрядную камеру с вводом плазмообразующего или исходного рабочего газа. Техническим результатом является повышение надежности и долговечности устройства с возможностью проведения плазмохимических и тепловых (сфероидизация) процессов большой производительности при вводимой в СВЧ-разряд СВЧ-мощности 30 кВт и более при атмосферном давлении плазмообразующего газа. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.
Описание
Патент на изобретение
Ключевые слова
Патент
Цитирование
СВЧ-ПЛАЗМОТРОН И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПЛАЗМЫ / Берестенко В.И. [и др.]. - Заявка № 2023135382 от 27.12.2023.- 2024