Publication:
СВЧ-ПЛАЗМОТРОН И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПЛАЗМЫ

Простая страница элемента
dc.contributor.authorБерестенко, В. И.
dc.contributor.authorЛюбушкина, Т. А.
dc.contributor.authorМорозов, А. О.
dc.contributor.authorАхременков, Б. В.
dc.contributor.authorПрокопенко, А. В.
dc.date.accessioned2025-11-28T07:20:09Z
dc.date.available2025-11-28T07:20:09Z
dc.date.issued2024
dc.descriptionПатент на изобретение
dc.description.abstractИзобретение относится к средствам генерирования плазмы СВЧ-разряда. Ввод СВЧ-энергии осуществляется в металлическую разрядную камеру через продольную вдоль оси камеры щель из присоединяемой к этой щели металлической трубы-волновода, располагаемой вдоль оси разрядной камеры. Через эту же щель вводится вращающийся вокруг оси разрядной камеры поток газа, закрученный внутри трубы-волновода. Для предотвращения образования зоны рециркуляции газа в осевой зоне внутри трубы-волновода располагают дополнительную металлическую трубу меньшего диаметра. Между трубой меньшего диаметра и внешней трубой-волноводом вводится вращающийся поток газа, далее по образованному таким образом коаксиальному волноводу вводится СВЧ-энергия на электромагнитной волне типа H11, которая возбуждается в коаксиальном волноводе, через окно во внешней трубе коаксиального волновода в зоне, удаленной от щели ввода, в разрядную камеру. Причем обеспечивается удаление герметизирующего диэлектрического окна ввода СВЧ-энергии в зону, недостижимую для продуктов реакции, из активной зоны СВЧ-разряда и теплового воздействия плазмы на окно, а также совмещение щели ввода СВЧ-энергии в разрядную камеру с вводом плазмообразующего или исходного рабочего газа. Техническим результатом является повышение надежности и долговечности устройства с возможностью проведения плазмохимических и тепловых (сфероидизация) процессов большой производительности при вводимой в СВЧ-разряд СВЧ-мощности 30 кВт и более при атмосферном давлении плазмообразующего газа. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.
dc.identifier.citationСВЧ-ПЛАЗМОТРОН И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПЛАЗМЫ / Берестенко В.И. [и др.]. - Заявка № 2023135382 от 27.12.2023.- 2024
dc.identifier.otherRU 2826447 C9
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/39854
dc.subjectПатент
dc.titleСВЧ-ПЛАЗМОТРОН И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПЛАЗМЫ
dc.typePatent
dspace.entity.typePublication
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
СВЧ-плазмотрон и способ генерации плазмы.pdf
Size:
1.9 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
Патенты