Publication:
Temperature distribution on dielectric membrane structures for sensitive elements of semiconductor gas sensors

Дата
2019
Авторы
Veselov, D. S.
Voronov, Y. A.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019 Published under licence by IOP Publishing Ltd. The aim of this article is to show a simulation of temperature distribution on dielectric membrane structures with membranes of different dielectric materials in the measuring mode of a semiconductor gas sensor. The simulation results were obtained using the software package Synopsys TCAD. In various moments of the measuring cycle were obtained two-dimensional temperature distributions on membrane structures. Dependencies of temperature versus time for the variety of the coordinates on membranes, temperature versus coordinates at the sensitive layer area's highest heat value and temperature versus time in the center of the membranes are presented. Recommendations are given for the selection of membrane material for the heat-insulating membrane structure of sensitive elements for semiconductor gas sensors.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Veselov, D. S. Temperature distribution on dielectric membrane structures for sensitive elements of semiconductor gas sensors / Veselov, D.S., Voronov, Y.A. // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2019. - 498. - № 1. - 10.1088/1757-899X/498/1/012037
URI
https://www.doi.org/10.1088/1757-899X/498/1/012037
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85065557895&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000472784800037
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/17971
Коллекции
Публикации