Publication: Формирование олеофобных структур оптически-прозрачных бинарных покрытий, осаждаемых реакционным распылением в аргон-азот-кислородной плазме магнетронного разряда
Дата
2019
Авторы
Бернт, Д. Д.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Описание
автореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук (01.04.08 - физика плазмы)
Ключевые слова
Автор МИФИ , Тонкие пленки , Закон смачивания , Магнетронная плазма , 01.04.08 - физика плазмы
Цитирование
Бернт, Д. Д. Формирование олеофобных структур оптически-прозрачных бинарных покрытий, осаждаемых реакционным распылением в аргон-азот-кислородной плазме магнетронного разряда : автореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук (01.04.08 - физика плазмы) / Д.Д. Бернт; рук. работы А. А. Писарев ; [Место защиты: НИЯУ МИФИ]. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2019. - 30 с.