Publication: О НЕОБХОДИМОСТИ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ РАЗРАБОТОК НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Дата
2011
Авторы
Кванин, А. Л.
Пушкин, М. А.
Троян, В. И.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Описание
В настоящее время технологии активно продвигаются в область наноразмеров. В первую очередь это касается наноэлектроники. Современные электронные системы работают в той области, где размер функциональных элементов имеет критическое влияние на свойства вещества. Так, с уменьшением размера наночастицы металла или полупроводника могут приобретать свойства диэлектриков, утрачивается кристаллическая структура – происходит плавление наночастиц при нормальной температуре, размер поверхностных дефектов сложных гетероструктурных подложек может сделать невозможным создание на них электронных компонентов. Таким образом, контроль линейных параметров наноразмерных систем стал насущной необходимостью для создания элементов современной электроники. Для обеспечения единства измерений объектов с размерами в нанодиапазоне появился особый раздел науки об измерениях – нанометрология.