О НЕОБХОДИМОСТИ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ РАЗРАБОТОК НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

Кванин, А. Л.; Пушкин, М. А.; Троян, В. И.

Publication:
О НЕОБХОДИМОСТИ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ РАЗРАБОТОК НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

dc.contributor.author	Кванин, А. Л.
dc.contributor.author	Пушкин, М. А.
dc.contributor.author	Троян, В. И.
dc.date.accessioned	2024-03-01T09:36:43Z
dc.date.available	2024-03-01T09:36:43Z
dc.date.issued	2011
dc.description	В настоящее время технологии активно продвигаются в область наноразмеров. В первую очередь это касается наноэлектроники. Современные электронные системы работают в той области, где размер функциональных элементов имеет критическое влияние на свойства вещества. Так, с уменьшением размера наночастицы металла или полупроводника могут приобретать свойства диэлектриков, утрачивается кристаллическая структура – происходит плавление наночастиц при нормальной температуре, размер поверхностных дефектов сложных гетероструктурных подложек может сделать невозможным создание на них электронных компонентов. Таким образом, контроль линейных параметров наноразмерных систем стал насущной необходимостью для создания элементов современной электроники. Для обеспечения единства измерений объектов с размерами в нанодиапазоне появился особый раздел науки об измерениях – нанометрология.
dc.identifier.uri	https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/10065
dc.publisher	НИЯУ МИФИ
dc.title	О НЕОБХОДИМОСТИ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ РАЗРАБОТОК НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
dc.type	тезисы
dspace.entity.type	Publication